2009年6月2日,中硅高科承擔的國家“十一五”科技支撐計劃課題“大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究”,“高效加壓還原爐系統(tǒng)研究”,“大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究”三個課題和參與完成的課題“多晶硅標準、專利體系建設與研究”順利通過驗收評審。
驗收評審會由國家科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會在洛陽中硅高科組織召開。在深入實地考察了三個項目的課題現(xiàn)場后,專家組認真審查了相關技術資料,聽取了課題承擔單位的課題報告,重點詢問了其中的關鍵問題。經(jīng)過認真質疑和討論,專家組成員一致同意以上四個項目通過驗收。并希望中硅高科堅持以技術創(chuàng)新為動力,研發(fā)多晶硅生產(chǎn)先進技術,為中國多晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更大的貢獻。
多晶硅是集成電路和光伏發(fā)電用關鍵原材料,是《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》制造業(yè)領域基礎原材料優(yōu)先主題的重要內(nèi)容,是國家重點鼓勵發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)。2006年,科技部啟動了“十一五”國家科技支撐計劃“多晶硅材料產(chǎn)業(yè)關鍵技術開發(fā)”重點項目。中硅高科承擔三項研究課題、參與完成一項課題。
這四項科技成果的成功研制,成功解決了規(guī)模化多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問題,打破了國外技術封鎖,填補國內(nèi)空白,標志著我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術又獲新突破。研發(fā)成果應用于生產(chǎn)線,降低了生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)品質量,提升我國多晶硅產(chǎn)業(yè)綜合競爭力,使多晶硅產(chǎn)業(yè)和諧、健康、穩(wěn)定、持久地發(fā)展。