據(jù)FabTech網(wǎng)站報(bào)道,Nanometrics日前宣布收購(gòu)了一家以色列薄膜厚度集成測(cè)量(integrated metrology,IM)設(shè)備供應(yīng)商,名為Tevet Process Control Technologies。交易全部以現(xiàn)金完成,相關(guān)細(xì)節(jié)尚未公布。
Tevet由風(fēng)險(xiǎn)投資成立,成立于1999年。2007年曾募集1300萬美元進(jìn)行開發(fā)Trajectory T3設(shè)備,此薄膜厚度集成測(cè)量設(shè)備已經(jīng)用于PECVD工藝中。
Nanometrics集成測(cè)量事業(yè)部主管Steve Bradley表示,新的IM產(chǎn)品與現(xiàn)有產(chǎn)品大為不同,將顯著補(bǔ)充我們的IM業(yè)務(wù)。此次收購(gòu)意味著我們將開始向領(lǐng)先半導(dǎo)體OEM廠商以及太陽能制造產(chǎn)業(yè)進(jìn)軍。