9月16日消息，晶盛機(jī)電在回答投資者提問(wèn)時(shí)透露，公司目前自主研發(fā)的碳化硅單晶爐已經(jīng)實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售，外延設(shè)備已經(jīng)取得客戶(hù)技術(shù)驗(yàn)證通過(guò)。并表示公司將繼續(xù)加大研發(fā)力度，持續(xù)拓展碳化硅等第三代半導(dǎo)體材料裝備。

據(jù)了解，第三代半導(dǎo)體材料主要分為碳化硅SiC和氮化鎵GaN，相比于第一、二代半導(dǎo)體，其具有更高的禁帶寬度、高擊穿電壓、電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率，在高溫、高壓、高功率和高頻領(lǐng)域?qū)⑻娲皟纱雽?dǎo)體材料。但由于第三代半導(dǎo)體材料對(duì)于制造裝備上有著非常高的技術(shù)要求，因而長(zhǎng)期以來(lái)一直制約著我國(guó)第三代半導(dǎo)體材料的規(guī)模化產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料裝備企業(yè)，晶盛機(jī)電在第三代半導(dǎo)體材料開(kāi)發(fā)設(shè)備上有著豐富的經(jīng)驗(yàn)。實(shí)際上，在第三代半導(dǎo)體方向早有布局，早在今年5月份，在面對(duì)記者提問(wèn)時(shí)就提到，將堅(jiān)持“打造半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)，發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)”企業(yè)使命，圍繞硅、藍(lán)寶石、碳化硅三大主要半導(dǎo)體材料深入布局核心裝備和輔材耗材。在其8月份公布的2020年半年報(bào)中也提到，公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)出第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶爐、外延設(shè)備，其中碳化硅單晶爐已經(jīng)交付客戶(hù)使用，外延設(shè)備完成技術(shù)驗(yàn)證，產(chǎn)業(yè)化前景較好。

公告顯示，晶盛機(jī)電研發(fā)的6英寸碳化硅外延設(shè)備，兼容4寸和6寸碳化硅外延生長(zhǎng)。在客戶(hù)處4寸工藝驗(yàn)證通過(guò)，正在進(jìn)行6寸工藝驗(yàn)證。該設(shè)備為單片式設(shè)備，沉積速度達(dá)到50um/min，厚度均勻性＜1%，濃度均勻性＜1.5%。該設(shè)備生產(chǎn)的碳化硅外延片應(yīng)用于新能源汽車(chē)、電力電子、微波射頻等領(lǐng)域。

公司開(kāi)發(fā)的碳化硅外延設(shè)備，有助于拓展在第三代半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的市場(chǎng)布局。同時(shí)，通過(guò)實(shí)現(xiàn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，可極大降低硅和碳化硅材料應(yīng)用成本，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

據(jù)了解，今年上半年的疫情之下，憑借半導(dǎo)體硅片設(shè)備的巨大需求量，晶盛機(jī)電仍然實(shí)現(xiàn)了營(yíng)收穩(wěn)步增長(zhǎng)。在其2020年半年報(bào)中，晶盛機(jī)電1-6月份營(yíng)業(yè)收入為147072.69萬(wàn)元，相比同期增長(zhǎng)24.80%；其主營(yíng)業(yè)務(wù)總收入為13.78億元，其中晶體生長(zhǎng)設(shè)備收入為10.20億元，占據(jù)較大比重；同時(shí)，今年上半年研發(fā)投入為7127.01萬(wàn)元，占營(yíng)業(yè)收入比例的4.85%。