東麗工程在“PV Expo 2010（第三屆國際太陽能電池展，2月17～19日）”上，展示了可在移動(dòng)玻璃底板的同時(shí)制圖的激光加工裝置。開發(fā)該裝置的目的是為薄膜太陽能電池的透明電極等制圖，現(xiàn)已向太陽能電池廠商供貨。由于底板不靜止時(shí)也能加工，因此提高了制圖的速度。

在移動(dòng)玻璃底板的同時(shí)，可在任意薄膜上形成溝狀圖形。攝影：Tech-On !

　　激光加工裝置主要用于對(duì)玻璃底板上成膜的薄膜層進(jìn)行溝狀加工。該裝置的加工對(duì)象為薄膜太陽能電池的透明電極、非晶硅及金屬電極。支持1100mm×1400mm的玻璃底板，加工速度最高為1000mm/秒，加工精度為±20μm以下。

　　東麗工程表示，隨著太陽能電池玻璃底板大型化的不斷推進(jìn)，激光加工時(shí)，玻璃底板的靜止及再移動(dòng)所需的時(shí)間會(huì)對(duì)薄膜太陽能電池的生產(chǎn)性能造成很大影響。薄膜太陽能電池用玻璃底板的厚度為液晶面板用途的5倍以上，重量達(dá)數(shù)十kg。因此，玻璃底板靜止及再移動(dòng)所需的時(shí)間進(jìn)一步增加。

　　此次為了開發(fā)激光加工裝置，該公司主要在以下兩方面做出了努力。（1）在與玻璃底板移動(dòng)方向垂直的方向形成溝狀圖形，（2）以溝槽狀除去任意薄膜，不除去其下方的薄膜。

　　關(guān)于（1），為了在與玻璃底板移動(dòng)方向垂直的方向形成溝狀圖案，使激光掃描與承載玻璃底板的平臺(tái)移動(dòng)實(shí)現(xiàn)同步的技術(shù)尤為重要。可通過不與玻璃底板的移動(dòng)方向垂直，而是以一定角度進(jìn)行激光掃描來實(shí)現(xiàn)。

　　關(guān)于該技術(shù)，該公司表示，采用了在液晶面板用玻璃底板切割設(shè)備中積累的技術(shù)。該公司已向多家大型液晶面板用玻璃底板廠商，供應(yīng)可在移動(dòng)玻璃底板的同時(shí)實(shí)現(xiàn)連續(xù)切割的裝置。

　　關(guān)于（2），該公司沒有公開可除去任意薄膜的技術(shù)的詳情。在下層較薄的功能膜表面上，很難高精度停止激光加工。在薄膜太陽能電池的制造工序中，需要以溝槽狀除去透明電極上的非晶硅以及非晶硅上的金屬，此時(shí)會(huì)出現(xiàn)問題。以上兩個(gè)工序采用波長(zhǎng)為532nm的激光器。而以溝槽狀除去玻璃底板為激光加工停止層的透明電極時(shí)的工序則采用波長(zhǎng)為1064nm的激光器。（記者：加藤 伸一）