2015年6月16日至17日，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司承擔(dān)的，有浙江大學(xué)，杭州慧翔電液技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司參加的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（以下簡(jiǎn)稱(chēng)02專(zhuān)項(xiàng)）“硅材料設(shè)備應(yīng)用工程”項(xiàng)目（2009ZX02011 ）中的“300mm硅單晶直拉生長(zhǎng)設(shè)備的開(kāi)發(fā)”課題（2009ZX02011-001A）在北京有研新材料股份有限公司，由國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施辦公室和總體組組織召開(kāi)的項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)上，以?xún)?yōu)秀的成績(jī)通過(guò)了國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)驗(yàn)收專(zhuān)家組專(zhuān)家的正式驗(yàn)收。這是值得課題組成員與晶盛機(jī)電全體員工慶賀的大喜事！

自2009年1月該課題立項(xiàng)以來(lái)，經(jīng)過(guò)課題組成員近四年的共同努力，成功研制出可安裝28”和32”熱場(chǎng)、滿(mǎn)足300mm直拉硅單晶90-65nm特征線(xiàn)寬、高性能要求的新型全自動(dòng)硅單晶生長(zhǎng)爐商業(yè)樣機(jī)。圓滿(mǎn)地完成了課題合同書(shū)規(guī)定的各項(xiàng)技術(shù)、經(jīng)濟(jì)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、人才培養(yǎng)以及平臺(tái)建設(shè)等指標(biāo)，已達(dá)到課題任務(wù)書(shū)的考核要求。

該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)集成電路級(jí)單晶硅生長(zhǎng)的12道工藝全自動(dòng)控制。課題涵蓋了四大關(guān)鍵技術(shù)：1）實(shí)現(xiàn)了功率控制直徑技術(shù)，以減少硅單晶COP缺陷；2）新型CCD圖像處理系統(tǒng)檢測(cè)與精確控制液面位置技術(shù)；3）油冷卻新型磁場(chǎng)系統(tǒng)與控制熔體流動(dòng)工藝技術(shù)；4）提高軸向溫度梯度、高拉速、節(jié)能型的水冷夾套技術(shù)。2012年以來(lái)，課題產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)了海內(nèi)外銷(xiāo)售應(yīng)用，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司的高端電子級(jí)單晶爐產(chǎn)品技術(shù)得到了廣大客戶(hù)的充分好評(píng)與信賴(lài)。課題取得了良好的社會(huì)、經(jīng)濟(jì)效益，產(chǎn)業(yè)化前景優(yōu)勢(shì)明顯。

國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施辦公室和總體組，分別組織任務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家及財(cái)務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家，在對(duì)課題進(jìn)行了嚴(yán)格的驗(yàn)收工作的基礎(chǔ)上，對(duì)課題完成情況作出了總體評(píng)價(jià)：“課題組完成了任務(wù)合同書(shū)規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容。研制出滿(mǎn)足90--65nm特征線(xiàn)寬集成電路用300mm直徑硅材料的全自動(dòng)硅單晶生長(zhǎng)爐。各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)、產(chǎn)業(yè)化指標(biāo)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)指標(biāo)、人才隊(duì)伍建設(shè)指標(biāo)及平臺(tái)建設(shè)指標(biāo)均達(dá)到任務(wù)合同書(shū)的考核要求。提供的驗(yàn)收資料齊全。驗(yàn)收專(zhuān)家組專(zhuān)家一致同意課題通過(guò)驗(yàn)收。”