此次入場的設(shè)備將用于IGBT芯片生產(chǎn),主要有全自動(dòng)接近式正面曝光的光刻機(jī)及關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡等設(shè)備,均代表著國際芯片生產(chǎn)及檢測的一流水平,該批設(shè)備的順利入場預(yù)示著公司面向國際、面向一流的IGBT制造檢測能力正在由藍(lán)圖走向現(xiàn)實(shí)。
據(jù)悉,IGBT生產(chǎn)車間將采用全自動(dòng)化、全設(shè)備化生產(chǎn),設(shè)備的先進(jìn)程度和運(yùn)行狀態(tài)將對IGBT的大批量生產(chǎn)及產(chǎn)品的可靠性起著至關(guān)重要的作用。