作者：李逸、雷鳴 （北京航空航天大學(xué)）

目錄

一、西門(mén)子法——中國(guó)多晶硅技術(shù)的零的突破。 1

二、峨半人的結(jié)晶——改良西門(mén)子法 2

三、改良西門(mén)子法的二次改良 4

氫化合成工藝：冷氫化可降低能耗，提高三氯氫硅利用率。 4

分解還原工藝：流化床將大幅度降低能耗。 5

四、硅烷法——電子能級(jí)的新出路 8

五、冶金法——太陽(yáng)能級(jí)的新起點(diǎn) 9

六、總結(jié) 10

七、參考文獻(xiàn) 11

我們實(shí)踐隊(duì)通過(guò)采訪了解到現(xiàn)在多晶硅生產(chǎn)中的技術(shù)等問(wèn)題，生產(chǎn)中的成本是多晶硅產(chǎn)業(yè)如何與國(guó)外競(jìng)爭(zhēng)的根本問(wèn)題，我們?cè)跂|方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司，峨眉半導(dǎo)體材料廠，研究所（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“東氣峨半”）參觀工廠和車(chē)間時(shí)也有這種感悟，只有使用新技術(shù)，才能減少生產(chǎn)成本，才能從根本上減少成本，以適應(yīng)多晶硅新環(huán)境。當(dāng)我們了解了這些后，我們決定自己通過(guò)查閱參考資料來(lái)搜集新技術(shù)，結(jié)合我們的實(shí)踐來(lái)提出一點(diǎn)原來(lái)很少的東西，總結(jié)起來(lái)。變成我們自己的東西。我相信這份報(bào)告是獨(dú)一無(wú)二的。我們也是希望我們材料學(xué)子能更多的了解到這些傳統(tǒng)材料的現(xiàn)狀與發(fā)展。也能從中學(xué)習(xí)創(chuàng)新技術(shù)和改良技術(shù)的途徑。

東氣峨半采用的是改良法西門(mén)子技術(shù)，這些在接下來(lái)的文章里還會(huì)對(duì)技術(shù)進(jìn)行詳盡的分析。我們從多晶硅生產(chǎn)的歷史來(lái)看技術(shù)，最后還將結(jié)合國(guó)外著名多晶硅企業(yè)進(jìn)行綜合分析。