Veeco日前與中國電子科技集團(tuán)公司第十八研究所、中國化學(xué)與物理電源行業(yè)協(xié)會共同舉辦了銅銦鎵硒（CIGS）薄膜太陽電池技術(shù)研討會，議題涵蓋CIGS薄膜太陽能電池的最新生產(chǎn)設(shè)備、測試設(shè)備及目前中國光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀等。

Veeco主要為高亮度LED、太陽能、半導(dǎo)體用戶提供技術(shù)解決方案。Veeco大中華區(qū)總經(jīng)理王克揚(yáng)表示，Veeco是業(yè)界目前唯一可將熱源整合到CIGS Web鍍膜系統(tǒng)上的薄膜沉積設(shè)備供應(yīng)商，因此公司的FastFlex卷繞鍍膜系統(tǒng)能夠給客戶帶來卓越的高吞吐量的沉積方案，幫助客戶快速完成從研發(fā)到量產(chǎn)的過程。

FastFlex Web鍍膜系統(tǒng)，由Veeco于2008年5月收購的Lowell生產(chǎn)，具有吞吐量高、性能卓越、擁有成本低，并且具有緊湊的外形尺寸等特點(diǎn)。通過其靈活的結(jié)構(gòu)設(shè)計可實(shí)現(xiàn)濺射，反應(yīng)濺射和熱蒸發(fā)鍍膜，是Mo（鉬），TCO（透明導(dǎo)電氧化物）和CIGS等太陽能薄膜制備的理想工具。王克揚(yáng)介紹，系統(tǒng)可在多個沉積區(qū)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)或平面磁場分布，用戶可根據(jù)自身需要選用表面預(yù)清洗和多種泵系統(tǒng)。CIGS 系統(tǒng)配備有Veeco擁有專利并已在業(yè)界廣為使用的PV系列熱蒸發(fā)源，通過選用合適的沉積系統(tǒng)并優(yōu)化工藝條件，可極大提高原料的利用率和降低鍍層厚度的不均勻性（NU）。

Veeco目前針對薄膜太陽能電池的大規(guī)模生產(chǎn)向客戶提供鉬、CIGS及TCO沉積層的集成制造解決方案。經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的CIGS熱沉積源，因能高產(chǎn)量生產(chǎn)出超高質(zhì)量薄膜，并轉(zhuǎn)化成更高效、高成品率的多結(jié)太陽能電池，從而有效地新降低太陽能電池每瓦成本。TurboDisc E475是行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的最大產(chǎn)能的MOCVD系統(tǒng)，針對大批量化合物材料的生產(chǎn)而設(shè)計，采用RealTemp 200技術(shù)可直接實(shí)現(xiàn)閉環(huán)原位晶片溫度控制，并通過快速地開/關(guān)氣體實(shí)現(xiàn)彎道處的嚴(yán)格控制，這兩項(xiàng)技術(shù)的處理可帶來優(yōu)質(zhì)的材料以及很高的工藝率，相較于前代產(chǎn)品E450提高了15%的產(chǎn)能并進(jìn)一步降低了成本。

除多結(jié)太陽能電池外，該系統(tǒng)還可用于HBT、pHEMT器件，以及紅、橙和黃光高亮度LED、激光二極管等。其TurboDisc K系列GaN MOCVD系統(tǒng)，主要用于大批量生產(chǎn)GaN基綠光LED和藍(lán)色激光器，并對增加GPI的高亮度藍(lán)光LED的產(chǎn)量也有明顯作用。

王克揚(yáng)介紹，Veeco目前在上海外高橋建有保稅倉庫，在北京和上海設(shè)立了多個聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，為用戶提供直接和周到的市場和技術(shù)支持。而薄膜太陽能電池和LED照明領(lǐng)域，是公司在中國重點(diǎn)拓展的目標(biāo)市場，并且已有了實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。