TÜV南德意志集團日前公布了Schmid Silicon Technology(SST)公司的氯氫化反應(yīng)制三氯硅烷工藝的測試結(jié)果。這項研究位于SST在德累斯頓的工廠，開始于2011年12月，在測試中，這項工藝的參數(shù)都被調(diào)制最低，以檢驗SST氯氫化反應(yīng)技術(shù)在最“惡劣”情況下的最低轉(zhuǎn)化率。

在測試中，流化床反應(yīng)器的反應(yīng)時間減少60%，反應(yīng)溫度設(shè)為最低，在這樣的情況下，氯氫化反應(yīng)的轉(zhuǎn)化率為24.3%。SST的首席運營官Jochem Hahn表示，“我們很自豪向多晶硅產(chǎn)業(yè)推出我們的低壓氯氫化反應(yīng)系統(tǒng)。相比傳統(tǒng)高壓氯氫化反應(yīng)系統(tǒng)，我們先進的低壓氯氫化反應(yīng)系統(tǒng)在操作性、安全性以及成本方面擁有諸多優(yōu)勢。”

TÜV南德意志集團同時證實在正常工作溫度和滿負(fù)荷情況下，三氯硅烷產(chǎn)量還可以進一步提高。Jochem Hahn表示，“我們的轉(zhuǎn)化率可以達到26.8%，而且還有進一步上升的空間。”