開發(fā)SOI(Silicon On Insulator)晶圓技術(shù)的美國(guó)Silicon Genesis公司2008年7月11日宣布,成功研制出使用“PolyMax”晶圓工藝技術(shù)的太陽能電池底板。該公司將使用該技術(shù),涉足太陽能電池晶圓市場(chǎng)。
利用PolyMax技術(shù)制造的厚50μm的125mm晶圓
該公司此次制造了厚50μm的125mm晶圓樣品。還計(jì)劃在2009年春季之前,利用PolyMax晶圓工藝技術(shù),啟動(dòng)將硅錠切割成厚50~150μm的晶圓的試驗(yàn)生產(chǎn)線。
該公司預(yù)定在2008年9月1~5日于西班牙舉辦的“23rd European Photovoltaic Conference”上,公開PolyMax晶圓工藝技術(shù)及其設(shè)備的詳細(xì)情況。