Solarbe報(bào)道,雖然半導(dǎo)體產(chǎn)品仍是消費(fèi)電子特種氣體的主力軍,但光伏技術(shù)的發(fā)展加大了電子工業(yè)氣體的需求量。只要石油價(jià)格繼續(xù)保持在高位,光伏技術(shù)就將得到大量應(yīng)用,全球電子工業(yè)氣體需求也將隨之激增。
總部設(shè)在美國(guó)加州圣何塞市的半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)(SEMI)預(yù)測(cè),全球光伏市場(chǎng)將從2007年的130億美元增長(zhǎng)到2012年的超過400億美元。美國(guó)市場(chǎng)研究公司弗里多尼亞集團(tuán)稱,全球工業(yè)氣體市場(chǎng)2005年達(dá)410億美元,預(yù)計(jì)2010年將達(dá)510億美元。
電子工業(yè)氣體主要用于薄膜沉積,如化學(xué)氣相沉積(CVD)或物理氣相沉積(PVD法),這些技術(shù)主要用來制造半導(dǎo)體或光伏電池。三氟化氮(NF3)、硅烷(SiH4)和氨氣是用于半導(dǎo)體、液晶顯示器(LCD)和光伏技術(shù)領(lǐng)域的三大主要電子工業(yè)氣體。
薄膜太陽(yáng)能電池在不同領(lǐng)域、不同自然條件下的普及應(yīng)用,使其生產(chǎn)過程中必不可少的電子工業(yè)氣體消費(fèi)量以較快速度增長(zhǎng)。美國(guó)工業(yè)氣體供應(yīng)商空氣化工產(chǎn)品公司預(yù)測(cè),全球太陽(yáng)能電池產(chǎn)能將以年均30%以上的速度增長(zhǎng)。
未來第二代超薄薄膜硅光伏技術(shù)的發(fā)展,將刺激特種工業(yè)氣體需求繼續(xù)加快增長(zhǎng)。空氣化工產(chǎn)品公司2007年底對(duì)外宣布,將對(duì)其設(shè)在韓國(guó)蔚山的NF3裝置進(jìn)行擴(kuò)能改造,到2009年,該基地的產(chǎn)能將擴(kuò)大一倍達(dá)1000噸/年。另外,該公司還在美國(guó)賓夕法尼亞州建有總產(chǎn)能達(dá)2200噸/年的NF3裝置。
總部設(shè)在德國(guó)慕尼黑的瓦克公司預(yù)測(cè),多晶硅的年需求將以10%速度增長(zhǎng)。另有一家咨詢公司指出,90%的光伏電池是以電子級(jí)多晶硅為原料,大多數(shù)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅以氯硅烷作為一種中間介質(zhì),并通過氣態(tài)工藝過程加工而成。