德國(guó)制造商Singulus Technologies(ETR:SNG)收獲了一份Singular PECVD工具訂單，這是新加坡太陽(yáng)能研究所(Solar Energy Research Institute of Singapore，SERIS)訂購(gòu)的一款用于晶體硅太陽(yáng)能電池的ARC系統(tǒng)噴涂工具。

SINGULAR是SERIS一項(xiàng)投入數(shù)百萬(wàn)美元研究硅片異質(zhì)結(jié)電池及其大批量投產(chǎn)的研究的一部分。

Singulus Technologies的首席執(zhí)行官Stefan Rinck工程博士表示：“SERIS是亞洲領(lǐng)先的太陽(yáng)能研究機(jī)構(gòu)，Singulus Technologies非常自豪能同托馬斯•穆勒(Thomas Mueller)博士以及他的團(tuán)隊(duì)在異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池項(xiàng)目上進(jìn)行合作。我們相信這項(xiàng)基于我們用于新型太陽(yáng)能電池減反射噴涂的Singular ICP-PECVD噴涂工具技術(shù)的項(xiàng)目會(huì)獲得商業(yè)成功，它能降低太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)成本，為光伏行業(yè)提供一種更具成本效益的能量來(lái)源。”

SERIS運(yùn)營(yíng)著硅片太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池實(shí)驗(yàn)生產(chǎn)線各一條。

Singular工具已經(jīng)證明了氮化硅ARC的能力，對(duì)目前太陽(yáng)能電池的噴涂效率表現(xiàn)優(yōu)異，涂色均勻。在SERIS項(xiàng)目中，這些能力還將擴(kuò)展到異質(zhì)結(jié)硅片太陽(yáng)能電池的多層噴涂處理。這個(gè)工具的關(guān)鍵是PECVD光電直讀光譜儀。光電直讀光譜儀能夠更好的控制薄膜的組織和高速處理的沉積物密度。

該工具的理念是基于靜態(tài)內(nèi)聯(lián)生產(chǎn)結(jié)合內(nèi)基底板傳導(dǎo)以及靜態(tài)過(guò)程的優(yōu)點(diǎn)。還能進(jìn)行復(fù)雜的多層噴涂，比如疊層或一連串基底板形成的斜坡。

這個(gè)研發(fā)項(xiàng)目由新加坡國(guó)家研究研究基金會(huì)(National Research Foundation of Singapore，NRF)和幾個(gè)國(guó)際伙伴共同出資。這個(gè)項(xiàng)目將硅片、設(shè)備材料供應(yīng)商、設(shè)備和組件制造商匯集到一起進(jìn)行合作。