弗羅里達(dá)州圣彼德斯堡--Sorra公司是一家領(lǐng)先的LED和激光技術(shù)公司，該公司最近購買了三套Plasma-Therm系統(tǒng)，用以在其晶圓制造工藝過程中進(jìn)行等離子沉積和刻蝕步驟。Soraa由來自于圣巴巴拉市加州大學(xué)的開拓性氮化合物研究員Shuji Nakamura教授、Steve DenBaars教授和Jim Speck教授創(chuàng)建，公司正在開發(fā)新類LED和激光，用于普通照明和投影顯示市場(chǎng)。在首席執(zhí)行官Eric Kim的領(lǐng)導(dǎo)下，公司正迅速擴(kuò)展其基于美國(guó)的批量生產(chǎn)制造能力。

公司所購買的三套系統(tǒng)包括790+® RIE、VERSALINE® PECVD和VERSALINE® ICP。通過提供電介質(zhì)沉積和金屬、電介質(zhì)以及活性物質(zhì)的結(jié)構(gòu)排列，它們共同實(shí)現(xiàn)了前期關(guān)鍵的工藝技術(shù)、步驟，這對(duì)于開發(fā)和生產(chǎn)最先進(jìn)的光子器件是至關(guān)重要的。而且，市場(chǎng)對(duì)LED和激光的需求仍在不斷增加，因?yàn)樗鼈円堰M(jìn)入到包括非工業(yè)照明、顯像、生物技術(shù)、國(guó)防以及其它工業(yè)領(lǐng)域的主流應(yīng)用當(dāng)中。

銷售與市場(chǎng)營(yíng)銷執(zhí)行副總裁Ed Ostan指出："當(dāng)工程師們將他們的技能和知識(shí)應(yīng)用于不同的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域時(shí)，他們通常無法將其所擁有的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)用于操作不同的設(shè)備集。應(yīng)用Plasma-Therm工藝系統(tǒng)的積極經(jīng)驗(yàn)不僅吸引了更多新的訂單，而且還保持了持續(xù)的業(yè)務(wù)關(guān)系。以前使用Plasma-Therm設(shè)備所體會(huì)到的優(yōu)越性在這次制造商購買Plasma-Therm設(shè)備的決定中起著重要作用。我們重視建立強(qiáng)有力的業(yè)務(wù)關(guān)系以及我們系統(tǒng)經(jīng)過驗(yàn)證的可靠性和支持，這是客戶重復(fù)訂購的關(guān)鍵因素。"

Plasma-Therm成立于1974年，是先進(jìn)的等離子工藝設(shè)備供應(yīng)商，提供多種刻蝕和沉積技術(shù)。Plasma-Therm系統(tǒng)支持各種專業(yè)市場(chǎng)，如固態(tài)照明、薄膜磁頭、MEMS、光掩膜和化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)。為滿足全球客戶群的多元化需求，Plasma-Therm在北美、歐洲和亞太設(shè)有銷售、服務(wù)和備件供應(yīng)點(diǎn)。