日本愛(ài)發(fā)科（ULVAC）宣布，將于2010年7月1日上市可自動(dòng)檢測(cè)串聯(lián)薄膜硅（Si）太陽(yáng)能電池的單元特性及TCO（Transparent Conductive Oxide）特性的裝置“MPEC-opt1300”。該公司以整體解決方案（Turn-Key Solution，成套提供太陽(yáng)能電池產(chǎn)生線）為中心開(kāi)展業(yè)務(wù)，其中已于2009年推出了可檢測(cè)6種薄膜特性的一體型裝置“MPEC-1300”。除了該膜質(zhì)檢測(cè)裝置之外，此次還推出了可自動(dòng)檢測(cè)單元及TCO特性的裝置。

　　此次的產(chǎn)品面向量產(chǎn)線的抽樣檢查用途，單元特性可通過(guò)破壞檢查（分流電阻等部分特性可通過(guò)非破壞方式進(jìn)行檢查），TCO特性可通過(guò)非破壞檢查分別進(jìn)行檢測(cè)?？稍诮?jīng)過(guò)太陽(yáng)能電池量產(chǎn)線各工序的性能評(píng)測(cè)以及最終產(chǎn)品檢查（太陽(yáng)能電池模擬器）后發(fā)現(xiàn)問(wèn)題時(shí)用于解析原因等。作為選配項(xiàng)，還備有根據(jù)分流電阻檢測(cè)結(jié)果（電阻不良的位置信息）的激光修復(fù)功能，以及對(duì)現(xiàn)有的MPEC-1300和此次的MPEC-opt1300的檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)一的“綜合分析軟件”。

　　在單元特性方面，原來(lái)是從形成太陽(yáng)能電池單元的玻璃底板中切割下5mm見(jiàn)方左右，通過(guò)對(duì)其施以電極錫焊及絕緣處理來(lái)制作名為“迷你單元（Mini Cell）”的小片元件，然后采用向該元件照射或非照射光線的方式，對(duì)I-V和特性進(jìn)行檢測(cè)。但是，形成迷你單元的處理需要大量人工，而且處理時(shí)間較長(zhǎng)。愛(ài)發(fā)科表示，原來(lái)在切割玻璃時(shí)每點(diǎn)需要180秒，錫焊時(shí)每點(diǎn)需要300秒，檢測(cè)時(shí)每點(diǎn)需要75秒，比如81點(diǎn)檢測(cè)需要750分鐘，7點(diǎn)檢測(cè)需要65分鐘。

　　而此次的裝置可在不切割玻璃底板的情況下，利用激光對(duì)玻璃底板上形成的硅薄膜層等進(jìn)行切割，形成迷你單元。這樣一來(lái)，激光切割時(shí)每點(diǎn)只需要30秒，檢測(cè)時(shí)每點(diǎn)只需要40秒，從而實(shí)現(xiàn)了81點(diǎn)檢測(cè)需要95分鐘，7點(diǎn)檢測(cè)需要7分鐘的短時(shí)間檢測(cè)。在單元特性的詳細(xì)檢測(cè)項(xiàng)目方面，可對(duì)轉(zhuǎn)換效率、短路電流、開(kāi)路電壓、場(chǎng)形系數(shù)、最大功率、分流電阻及串聯(lián)電阻等進(jìn)行檢測(cè)。

　　在TCO特性方面，原來(lái)需要進(jìn)行切割玻璃底板的破壞檢查，而此次的裝置則可通過(guò)非破壞的方式對(duì)大面積的霧度特性（散射光的比例）分布等進(jìn)行檢測(cè)。而且，檢測(cè)時(shí)間只有每點(diǎn)30秒。除霧度特性外，還可檢測(cè)全光線透射率、擴(kuò)散透射率及平行光線透射率。此次裝置的價(jià)格為8400萬(wàn)日元（含選配項(xiàng)）。愛(ài)發(fā)科將以該公司提供一攬子解決方案的太陽(yáng)能電池廠商為主要對(duì)象，展開(kāi)銷售。

　　現(xiàn)行的MPEC-1300已洽談了5臺(tái)左右的訂單，其中有1臺(tái)將于近期供貨。此次的MPEC-opt1300也制定了第一年度銷售5臺(tái)的目標(biāo)。該目標(biāo)“是保守估計(jì)。薄膜太陽(yáng)能電池廠商也可能會(huì)優(yōu)先向平板顯示器（FPD）及結(jié)晶太陽(yáng)能電池進(jìn)行投資，而推遲對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池的投資。因此，5臺(tái)中也許有一部分會(huì)在下一年度銷售”（愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品事業(yè)部東日本營(yíng)業(yè)部部長(zhǎng)武田清）。（記者：長(zhǎng)廣 恭明）