a-Si 、CdTe和CIGS是目前薄膜太陽能電池主流技術(shù)，而大部分CIGS（銅銦鎵硒）電池都采用真空蒸鍍方式生產(chǎn)――稱為共蒸鍍(co-evaporation)，將主要材料銅銦鎵與硒加熱在真空中沉積于基板，這種工藝要實(shí)現(xiàn)大面積且均勻的銅銦鎵硒膜具有相當(dāng)?shù)奶魬?zhàn)性。

    Veeco的鍍膜系統(tǒng)通過其靈活的結(jié)構(gòu)設(shè)計可實(shí)現(xiàn)濺射、反應(yīng)濺射和熱蒸發(fā)鍍膜。通過在多個沉積區(qū)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)或平面磁場分布使用PV系列熱蒸發(fā)源，以合適的沉積系統(tǒng)并優(yōu)化工藝條件，最大程度地提高原料的利用率和降低鍍層厚度的不均勻性。Veeco大中華區(qū)總經(jīng)理王克揚(yáng)介紹，Veeco最新推出的擁有專利適用于研發(fā)和大批量CIGS太陽能電池生產(chǎn)的PV-Series SUMO®，采用公認(rèn)的CIGS太陽能電池制造熱沉積源技術(shù)，提供業(yè)界唯一可規(guī)模生產(chǎn)的高效率CIGS熱沉積源。其獨(dú)特的專利坩堝圓柱容器和小錐孔設(shè)計，可實(shí)現(xiàn)快速流量調(diào)節(jié)和近乎瞬間流量切斷而達(dá)到出色的均勻鍍膜。

    美國Veeco近年利用其領(lǐng)先的熱蒸發(fā)技術(shù)的鍍膜系統(tǒng)積極切入CIGS薄膜太陽能設(shè)備領(lǐng)域，形成兩大產(chǎn)品線FastLine與FastFlex，分別用于玻璃與可撓式基板（主要為不銹鋼板）的太陽能電池工藝。王克揚(yáng)認(rèn)為，CIGS轉(zhuǎn)換效率較其它薄膜太陽能電池有明顯的優(yōu)勢，起步就可達(dá)到10%的轉(zhuǎn)換率，并且還有較大的提升空間，估計3年內(nèi)極有希望實(shí)現(xiàn)14%的轉(zhuǎn)換率，應(yīng)該是在所有光伏發(fā)電技術(shù)中最有機(jī)會率先實(shí)現(xiàn)上網(wǎng)等價點(diǎn)所要求20%轉(zhuǎn)換率的。就CIGS組件壽命而言，其材料本身穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)不易發(fā)生變結(jié)，足以應(yīng)對市場光伏產(chǎn)品25年生命周期的承諾。而從用戶設(shè)備投資角度來看，CIGS整線設(shè)備價格約為CdTe的1/3、非晶硅的1/5，因此其商業(yè)化的進(jìn)程速度也應(yīng)是所有薄膜電池技術(shù)中最快，到2012年將由目前的2.6GW增長到5GW 。

    從目前用戶的認(rèn)知度來看，王克揚(yáng)估計，由于公司產(chǎn)品對一條50MW生產(chǎn)線可輕易達(dá)到90%以上良率，2009年全球CIGS設(shè)備需求總額將達(dá)到8000萬美元，隨著市場需求持續(xù)增長突破1億美元指日可待。預(yù)計從2010年下半年CIGS市場會有個爆發(fā)性增長期到來，目前，Veeco可撓式CIGS工藝設(shè)備已拿到來自日韓客戶的訂單。王克揚(yáng)表示，目前主要CIGS設(shè)備廠有Veeco與Centrotherm，隨著業(yè)界對CIGS認(rèn)知度的提高，會有更多國際設(shè)備大廠加入到CIGS設(shè)備研發(fā)隊伍中。

    王克揚(yáng)指出，人們一直認(rèn)為CIGS工藝中銦的短缺是個瓶頸，其實(shí)中國最適合發(fā)展、采用CIGS工藝，因?yàn)槿?0%以上的銦材料來自中國，王克揚(yáng)認(rèn)為，開發(fā)CIGS設(shè)備，需要對工藝有相當(dāng)深刻的了解，在基礎(chǔ)技術(shù)如化學(xué)、材料等方面也需要長時間的研究，中國設(shè)備業(yè)者要進(jìn)入CIGS領(lǐng)域難度并不很高，但要有相當(dāng)大的耐心并與客戶緊密溝通。

    盡管中國太陽能光伏市場潛力巨大，參與者紛紛涌入遍地開花，能生存下來就是優(yōu)勝者。不過要想取得持續(xù)競爭力，業(yè)者一定要有成本控制能力，在應(yīng)用層面上不斷開發(fā)新技術(shù)，還有就是一定要有支高效率、扎實(shí)工作的團(tuán)隊。

    今年10月Veeco中國辦公地址將由現(xiàn)在的上海的陸家嘴搬到上海浦東金橋，王克揚(yáng)表示，這主要是出于貼近客戶考慮，同時也是為客戶提供更多的實(shí)用服務(wù)需要，新場所將有個產(chǎn)品演示及用戶培訓(xùn)中心，而對中國用戶縮短交貨周期也在努力之中。