7月14日～16日在美國舊金山舉辦了半導(dǎo)體制造裝置展會“SEMICON West 2009”。展位閑置，參展公司數(shù)量大幅減少，此番景象多少有點(diǎn)讓人擔(dān)心半導(dǎo)體制造裝置的市場前景。

　　去年后工序的展位如今變成了太陽能電池展會“Intersolar”的展區(qū)，今年的展位僅設(shè)在Moscone Center的南北展區(qū)。盡管如此，空閑位置仍然十分搶眼。另外，部分展位干脆掛起簾子，變成了放置物品倉庫。

　　今年，大型半導(dǎo)體制造裝置廠商普遍沒有參展。雖然尼康、愛發(fā)科、東京電子及迪思科參加了該展會，但與去年相比，展位十分冷清。預(yù)定12月舉辦的“SEMICON JAPAN 2009”（12月2日～4日，幕張國際會展中心）的申請參展企業(yè)也較少。此次SEMICON West與多年前需要在圣何塞及舊金山兩個(gè)會場分開展出時(shí)簡直有天壤之別。展會上也幾乎沒有新產(chǎn)品發(fā)布。

　　從各公司的說明會及采訪來判斷，“半導(dǎo)體制造裝置市場已渡過了最艱難時(shí)期”。今后，估計(jì)企業(yè)將向閃存開發(fā)方面進(jìn)行投資，預(yù)計(jì)09年下半年半導(dǎo)體制造裝置的訂單量會增加。不過，幾乎沒有一家廠商決定為大型量產(chǎn)項(xiàng)目投資，筆者認(rèn)為“今后各廠商將根據(jù)市場行情陸續(xù)投資”。半導(dǎo)體制造裝置市場的恢復(fù)能力較弱。此前極其旺盛的太陽能電池制造裝置需求也很低迷。

　　今后液晶制造裝置市場有望恢復(fù)。韓國LG顯示器宣布投資第8代生產(chǎn)線，韓國三星電子也打算增設(shè)大型生產(chǎn)線。臺灣及中國大陸也在計(jì)劃建設(shè)大型生產(chǎn)線。估計(jì)液晶制造裝置市場將于09年底恢復(fù)好轉(zhuǎn)。

　　功率半導(dǎo)體及LED方面的投資愈發(fā)活躍。通過投資LED而擴(kuò)大的制造裝置需求僅限于MOCVD裝置、蝕刻裝置及激光切片機(jī)等。功率半導(dǎo)體需求擴(kuò)大帶動業(yè)績好轉(zhuǎn)的裝置也僅限于支持深溝道（Deep Trench）的蝕刻裝置及離子注入裝置等。目前，愛發(fā)科及迪思科的裝置已接到詢價(jià)。

　　半導(dǎo)體制造裝置廠商紛紛表示，“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)很難重返之前的勢頭”。具有嚴(yán)重危機(jī)意識的半導(dǎo)體制造裝置廠商今后將采取何種對策備受關(guān)注。（特約撰稿人：和田木 哲哉，野村證券金融研究所）