面向全球半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和電子行業(yè)提供精密儀器和先進(jìn)氣液輸送解決方案的技術(shù)引領(lǐng)者 Celerity, Inc. 今天宣布，該公司推出新型 GF100 系列質(zhì)量流量控制器 (MFC)，該產(chǎn)品旨在精確測(cè)量、監(jiān)控和控制半導(dǎo)體設(shè)備及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝中的超純度工藝氣體化學(xué)反應(yīng)。該新型 Celerity GF100 系列質(zhì)量流量控制器是一個(gè)可高度配置的平臺(tái)，具有 Celerity 第二代專有的壓力瞬變不敏感型流量技術(shù)，可以改善工藝控制、降低擁有成本，并消除存貨管理的復(fù)雜性。

    該新型 Celerity GF100 系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列具有諸多重要優(yōu)勢(shì)，包括高精確度、可重復(fù)的氣體測(cè)量、先進(jìn)的數(shù)字架構(gòu)進(jìn)行的控制、為實(shí)現(xiàn)最大工藝靈活性和最優(yōu)化對(duì)氣體和流量范圍進(jìn)行原位電子再配置、壓力瞬變不敏感型流量技術(shù)設(shè)計(jì)（顯著減少了高純度氣體輸送系統(tǒng)的成本和體積）、以及便于自己進(jìn)行簡(jiǎn)單、有效的維護(hù)工作的嵌入式智能診斷、維修端口和軟件。

    Celerity 銷售與推廣高級(jí)副總裁 David Somo 表示："Celerity 是先進(jìn)的數(shù)字超純度質(zhì)量流量控制器領(lǐng)域的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者，也是壓力瞬變不敏感型質(zhì)量流量控制器領(lǐng)域的行業(yè)先驅(qū)。GF100 系列利用了我們?cè)跉怏w流量控制領(lǐng)域的廣泛經(jīng)驗(yàn)，是對(duì)我們市場(chǎng)領(lǐng)先的精確質(zhì)量流量控制器的持續(xù)改善與更新，它為客戶實(shí)現(xiàn)更佳的工藝控制和更低的擁有成本提供了符合 RoHS 的無(wú)縫升級(jí)。"

    Celerity 簡(jiǎn)介

    Celerity 是一家從事精密儀器及先進(jìn)氣液輸送解決方案的設(shè)計(jì)、工程及生產(chǎn)的技術(shù)引領(lǐng)者，其解決方案是半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板及相關(guān)產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備中不可或缺的組成部分。Celerity 總部位于加州圣荷西，在世界各地?fù)碛屑s800名員工。Celerity 是一家私人控股公司，德克薩斯太平洋集團(tuán) (Texas Pacific Group) 擁有其大部分股份。