Edwards中國(guó)分公司總經(jīng)理  許堅(jiān)

    你能想象讓舒馬赫駕駛著QQ依然馳騁在F1賽車場(chǎng)上嗎？縱然擁有總冠軍的嫻熟技能，但是如果沒(méi)有過(guò)硬的硬件支撐，恐怕他也只能望“車”興嘆。對(duì)于制造工藝來(lái)說(shuō)，真空泵的性能往往會(huì)決定工藝走得能有多遠(yuǎn)。

    “隨著芯片制造幾十年的發(fā)展，它已經(jīng)由新興產(chǎn)業(yè)慢慢地向成熟產(chǎn)業(yè)過(guò)渡。目前的很多新興產(chǎn)業(yè)，比如光伏、LCD、OLED等，都或多或少地采用了半導(dǎo)體制造工藝，如刻蝕、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中國(guó)分公司總經(jīng)理許堅(jiān)說(shuō)?！爸圃旃に嚨膹?fù)雜度不斷提升，對(duì)包括真空泵在內(nèi)的設(shè)備硬件提出了更苛刻的要求。”

    太陽(yáng)能和新半導(dǎo)體制造工藝（如砷化鎵化合物半導(dǎo)體）要求真空技術(shù)能夠處理大流量的氫氣，然而氫氣的分子量小、粘度低，是一種難以抽取的氣體。Edwards針對(duì)這一趨勢(shì)推出了iXH真空泵系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達(dá)到最佳的壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)高效率地抽取氫氣。其更長(zhǎng)的使用壽命和更低的動(dòng)力消耗大大減少了運(yùn)行成本。運(yùn)行成本的下降是通過(guò)能耗下降10％、維修間隔延長(zhǎng)以及意外停機(jī)時(shí)間減少而實(shí)現(xiàn)的。

    “在太陽(yáng)能光伏制造中，薄膜太陽(yáng)能電池的工藝腔遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)的半導(dǎo)體反應(yīng)腔，腔體的增大意味著對(duì)抽真空能力更高的要求。大設(shè)備需要大的抽氣量并快速達(dá)到真空度要求。”許堅(jiān)坦言：“對(duì)于大面積襯底的非晶硅/微晶硅薄膜太陽(yáng)能電池制造，在硅薄膜的淀積過(guò)程中需要高流量的氫氣和清洗機(jī)臺(tái)所需的大流量含氟氣體，真空系統(tǒng)的模塊化就成為了一個(gè)很好的解決方案?！?

    晶體硅太陽(yáng)能電池對(duì)真空泵的要求相比薄膜太陽(yáng)能電池要低，但除氣裝置和設(shè)備穩(wěn)定性對(duì)兩者都很重要。光伏產(chǎn)業(yè)本身是綠色能源的代表，制造過(guò)程更應(yīng)注重除氣和環(huán)保。此外，真空設(shè)備需要更高的可靠性以減少生產(chǎn)故障率，昂貴的原材料和較高的工廠資本投入需要通過(guò)新技術(shù)和新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)來(lái)降低運(yùn)行成本和擁有成本。

    半導(dǎo)體的核心技術(shù)往往掌握在設(shè)備商手中，而設(shè)備的核心又主要集中在國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家。光伏行業(yè)則不盡相同，中國(guó)本土的光伏設(shè)備廠商也擁有一定的核心技術(shù)，這就為Edwards創(chuàng)造了更好的本土合作機(jī)會(huì)?！拔覀兣c本土設(shè)備制造商靠得更緊，因此合作也會(huì)更加緊密。很多合作是從設(shè)備的設(shè)計(jì)階段就展開(kāi)的。中國(guó)光伏市場(chǎng)的興起為我們創(chuàng)造不少的商機(jī)。”許堅(jiān)表示，“2008年Edwards光伏領(lǐng)域的成長(zhǎng)比07年翻了一番，2009年雖然受全球經(jīng)濟(jì)衰退的影響，但最近歐洲太陽(yáng)能市場(chǎng)已經(jīng)開(kāi)始有好轉(zhuǎn)的跡象。總體來(lái)說(shuō)，光伏的持續(xù)成長(zhǎng)是顯而易見(jiàn)的?！?

    對(duì)于在中國(guó)市場(chǎng)的成功經(jīng)驗(yàn)，許堅(jiān)認(rèn)為首先是Edwards在中國(guó)建立了完善的供應(yīng)和服務(wù)系統(tǒng)。中國(guó)的半導(dǎo)體和光伏制造業(yè)較為分散，產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié)分布在不同的地域。為應(yīng)對(duì)這種情況，Edwards在國(guó)內(nèi)建立了多個(gè)服務(wù)點(diǎn)和供應(yīng)網(wǎng)絡(luò)，以便及時(shí)應(yīng)對(duì)客戶需求。維修中心能夠提供全面的銷售及維修服務(wù)，并由一個(gè)完善的管理架構(gòu)作支持。另外，貼近客戶也是Edwards的優(yōu)勢(shì)之一。半導(dǎo)體設(shè)備投資巨大，零部件供應(yīng)商需要緊隨客戶需求，提供一整套的服務(wù)和駐廠服務(wù)支持，從而保證設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性，由此幫助客戶控制成本并實(shí)現(xiàn)較高的運(yùn)行效率。

    經(jīng)濟(jì)和市場(chǎng)的走勢(shì)總是難以捉摸，沒(méi)有誰(shuí)能預(yù)知一切。對(duì)于設(shè)備廠商來(lái)說(shuō)，及時(shí)捕捉產(chǎn)業(yè)變化必不可少。當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)漸漸歸于成熟之時(shí)，進(jìn)軍光伏或許是個(gè)不錯(cuò)的選擇。