理想能源設(shè)備（上海）有限公司致力于開(kāi)發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)太陽(yáng)能電池制造設(shè)備，為薄膜太陽(yáng)能電池制造商提供性能最先進(jìn)、價(jià)格最具競(jìng)爭(zhēng)力、配置靈活的高端制造設(shè)備和生產(chǎn)線(xiàn)解決方案服務(wù)。公司由20多名20年以上從業(yè)經(jīng)驗(yàn)的國(guó)際化的團(tuán)隊(duì)管理，成員均曾任職于國(guó)際知名半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)，專(zhuān)業(yè)齊全、經(jīng)驗(yàn)豐富、長(zhǎng)于創(chuàng)新、精于管理。

公司業(yè)已投入量產(chǎn)的非晶/微晶疊層硅基薄膜太陽(yáng)能電池制造設(shè)備：低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）設(shè)備和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備穩(wěn)定可靠、性能優(yōu)異、產(chǎn)能領(lǐng)先。經(jīng)過(guò)內(nèi)部馬拉松試驗(yàn)和客戶(hù)生產(chǎn)線(xiàn)上的驗(yàn)證，設(shè)備的各項(xiàng)指標(biāo)都達(dá)到了世界先進(jìn)水平。

理想能源最新推出了在線(xiàn)式PECVD設(shè)備，可適用于異質(zhì)節(jié)晶體硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)或研發(fā)，其穩(wěn)定、可靠的特性尤其適用于高質(zhì)量異質(zhì)節(jié)晶體硅電池的生產(chǎn)。和傳統(tǒng)設(shè)備相比，

在線(xiàn)式PECVD設(shè)備具有如下優(yōu)勢(shì)：

1.創(chuàng)新的在線(xiàn)式鑲嵌式沉積腔設(shè)計(jì)：在保證薄膜高質(zhì)量、高重復(fù)性、高均一性、低損傷的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能（單腔在線(xiàn)設(shè)備產(chǎn)能>1200片/小時(shí)）；

2.可疊層的產(chǎn)能倍增設(shè)計(jì)：為適應(yīng)客戶(hù)高產(chǎn)能要求，可實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)式多層疊加沉積腔設(shè)計(jì)，產(chǎn)能亦可根據(jù)反應(yīng)腔層數(shù)實(shí)現(xiàn)倍增；

3.甚高頻技術(shù)（VHF：40MHz）：甚高頻技術(shù)能夠有效降低等離子對(duì)基片表面的損傷；

4.優(yōu)化的曲面電極與電介質(zhì)層：解決了引入甚高頻技術(shù)所帶來(lái)的駐波效應(yīng)和邊緣效應(yīng)的問(wèn)題，使設(shè)備在低功率密度下依然保持均勻的電場(chǎng)分布，保證了非晶硅薄膜的低速、均勻、高質(zhì)量生長(zhǎng)；

5.無(wú)移動(dòng)元器件等離子體射頻功率匹配系統(tǒng)：傳統(tǒng)的射頻系統(tǒng)匹配時(shí)間約 1-3 秒，其過(guò)程具有不確定性。而我司自主研發(fā)的無(wú)移動(dòng)元器件等離子體射頻系統(tǒng)匹配時(shí)間≤0.5 秒，特別適用于高質(zhì)量異質(zhì)節(jié)晶體硅電池對(duì)界面鈍化過(guò)程重復(fù)、穩(wěn)定、可靠性高的要求；

6.鑲嵌式沉積腔設(shè)計(jì)：沉積腔鑲嵌在真空腔內(nèi)，上下基板均有獨(dú)立的加熱和冷卻系統(tǒng)，使得沉積腔環(huán)境清潔、溫度均勻性高。