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德國(guó)科騰(Köthen)安哈爾特應(yīng)用技術(shù)大學(xué)日前收購(gòu)牛津儀器公司(Oxford Instruments)旗下PlasmaPro System100 ICP 65設(shè)備。
該大學(xué)表示，此次收購(gòu)將有助于其改善研究工作。PlasmaPro System100的關(guān)鍵特征包括加工溫度的范圍廣泛，從低溫至高達(dá)400ºC。
安哈爾特大學(xué)教授伯恩哈德(Bernhard)博士表示：“無(wú)掩模硅干法刻蝕工藝可用于處理硅襯底表面結(jié)構(gòu)，以創(chuàng)造黑硅。”
“降低反射率為電池光捕獲提供了更大的潛力。啟用干法刻蝕工藝創(chuàng)造表面結(jié)構(gòu)獨(dú)立于硅襯底的晶體結(jié)構(gòu)，并且能夠應(yīng)用于硅片的一側(cè)。我們選擇PlasmaPro系統(tǒng)由于其為我們提供了研究需要的所有功能。”
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