日本荏原制作所開始銷售可滿足太陽能電池制造工序等的大流量氣體需求的新款廢氣處理裝置。該裝置可將薄膜太陽能電池單元及半導(dǎo)體制造工序中排放的有毒氣體無害化。該公司根據(jù)用途準(zhǔn)備了名為G6型、G6-PV型及G6-E型的3款機(jī)型。3款機(jī)型均為具有燃燒單元及水洗集塵裝置單元的復(fù)合式處理裝置。

G6型是以薄膜太陽能電池單元、液晶面板單元及半導(dǎo)體制造工序中各種裝置所使用的氣體為對象的、支持大流量的廢氣處理裝置。每分鐘最多容許流入1200升氣體，與以往產(chǎn)品的平均每分鐘350升相比，擴(kuò)大到了大約3倍。由此可以減少所需廢氣處理裝置的臺數(shù)，從而降低設(shè)備成本。

G6-PV型用于處理薄膜太陽能電池單元制造工序的裝置中大量使用的清洗氣（三氟化氮，NF3），平均每分鐘最多可處理150升廢氣中所含三氟化氮。G6-E型適用于半導(dǎo)體制造工序產(chǎn)生的含有氫及氯的廢氣處理。每分鐘最多容許流入400升氣體。

該公司通過在廢氣處理裝置中增加3款新機(jī)型來擴(kuò)充產(chǎn)品陣容，滿足更多客戶的需求。由于可再生能源的關(guān)注度日益提高，太陽能電池市場的需求進(jìn)一步擴(kuò)大，制造工序中使用的廢氣處理裝置有望出現(xiàn)增長。荏原制作所將通過宣傳其可減少環(huán)境負(fù)荷以及提高生產(chǎn)效率的特點來銷售新的處理裝置。