三菱電機曾在2000年的國際會議上發(fā)布過將多晶硅單元轉(zhuǎn)換效率提高至16.8%的成果。此次,首先通過控制表面凹凸的RIE Texture技術(shù),將轉(zhuǎn)換效率提高至17.3%;在此基礎(chǔ)上再用氫不飽和鍵(Dangling Bond)加成技術(shù)將其提高至17.7%;最后通過減少布線面積將其提高至18%。
RIE Texture技術(shù)采用直徑為3μm的硅粒子作掩膜,通過蝕刻在晶圓表面形成數(shù)μm的凹凸。由于是在晶圓上涂布含硅溶液,以自組織方式排列硅,形成掩膜的成本得以削減至最低。
氫加成技術(shù)和電極面積縮減技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于部分量產(chǎn)產(chǎn)品。RIE Texture技術(shù)將在新引進的生產(chǎn)線上使用。另外三菱電機宣布,計劃在2010年之前將年產(chǎn)能提高至250MW。