近日，繼引領(lǐng)高效和超高效HJT的TCO設(shè)備——新型自主RPD系列之后，捷佳偉創(chuàng)人歷時一年精心打磨的具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的又一重磅異質(zhì)結(jié)關(guān)鍵工藝設(shè)備板式PECVD5500迎來了整備交付客戶的日子，給生機蓬勃的光伏行業(yè)又增添了一抹靚麗的色彩。捷佳偉創(chuàng)經(jīng)略在高效和超高效HJT的基礎(chǔ)棋局里，落下了最后一顆棋子，從而具備了完全自主的高效和超高效HJT的整線交付能力。
這款PECVD5500是捷佳偉創(chuàng)人自主研發(fā)設(shè)計的針對HJT電池工藝生產(chǎn)設(shè)備的基礎(chǔ)型號。由經(jīng)驗豐富的美國博士團隊與本土高級工程師團隊通力協(xié)作擔(dān)當設(shè)計，汲取當前國際主流設(shè)備的特點，結(jié)合量產(chǎn)需求自主研發(fā)而成；作為捷佳偉創(chuàng)的新一代板式PECVD產(chǎn)品，其獨特的氣流場、電磁場以及溫度場設(shè)計實現(xiàn)大面積薄膜沉積的均勻性和穩(wěn)定性、良好的鈍化效果和優(yōu)異的薄膜性能。

PECVD5500主設(shè)備的腔體結(jié)構(gòu)緊湊，載片板采用M6硅片10×10布局；節(jié)拍完全滿足當前高效率的工藝要求，鍍膜高度調(diào)整帶來的寬泛的工藝窗口為客戶提供更靈活的實現(xiàn)高效率電池的工藝路徑；上下料系統(tǒng)完全消除當下HJT電池敏感難題，整體PECVD系統(tǒng)具備極高的性價比；基礎(chǔ)型號通過減配腔體和增配串聯(lián)腔體，可以實現(xiàn)3000-11000的產(chǎn)能選擇。

根據(jù)我們廠內(nèi)測試的數(shù)據(jù)顯示，設(shè)備基本性能和模擬工藝結(jié)果全面優(yōu)于設(shè)計目標。搭配捷佳創(chuàng)特殊絨面結(jié)構(gòu)，鍍膜均勻性達到5%以內(nèi)，膜質(zhì)優(yōu)良，明顯優(yōu)于行業(yè)水平。同時經(jīng)過調(diào)整組合方式可以實現(xiàn)IINP新工藝要求。基于基礎(chǔ)型號的優(yōu)異狀態(tài)，捷佳偉創(chuàng)的下一代大產(chǎn)能同步進入設(shè)計，將實現(xiàn)產(chǎn)能基本翻番，亦將持續(xù)為客戶創(chuàng)造不凡價值。

至此，捷佳偉創(chuàng)公司不負眾望率先打通高效HJT從工藝設(shè)備到AGV智慧工廠的全制程設(shè)備的自主開發(fā)工作，成為全球第一家完成全線四道工序完全自主開發(fā)的整體異質(zhì)結(jié)電池解決方案設(shè)備提供商。這款優(yōu)秀的PECVD設(shè)備將和TCO工序先進的RPD系列設(shè)備組成“雙子星”設(shè)備，和我們傳統(tǒng)優(yōu)勢設(shè)備制絨、印刷設(shè)備一起，把異質(zhì)結(jié)電池量產(chǎn)轉(zhuǎn)換效率推上25%的行業(yè)新高度，突破從常規(guī)HJT向高效和超高效HJT的蛻變。