大且復(fù)雜的機(jī)臺(tái)、繁瑣的管道、漫長(zhǎng)的傳輸帶、高聳的價(jià)格，提及半導(dǎo)體或光伏制造設(shè)備，你首先想到的是不是這些？但很多時(shí)候，隱藏在視線以外不被注意的真空和尾氣處理系統(tǒng)往往成為了制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。它們一般安裝在工藝設(shè)備或輔助廠房中，但卻是保障高效、安全生產(chǎn)的關(guān)鍵。

“真空系統(tǒng)可以從工藝設(shè)備中抽出具有潛在危險(xiǎn)的生產(chǎn)氣體和制程副產(chǎn)物，并把他們輸送到處理系統(tǒng)中，在那里尾氣被分解并得到安全地處理。晶圓廠多達(dá)20%的能耗來(lái)自于真空泵和尾氣處理系統(tǒng)，Edwards一直都在提高其性能以實(shí)現(xiàn)成本的降低?！盓dwards亞太區(qū)總裁Neil Lavender-Jones說(shuō)，“Edwards與業(yè)界同行的不同之處在于，我們并非提供整條生產(chǎn)線，而是專注于為制造設(shè)備提供配套的干式真空泵、分子泵和尾氣處理系統(tǒng)等?！?/P>

選擇最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾氣處理和工藝設(shè)備對(duì)于真空的要求，以及真空系統(tǒng)的分布狀況。太陽(yáng)能和最新的半導(dǎo)體制造工藝（如砷化鎵化合物半導(dǎo)體）要求能夠處理大流量氫氣的真空技術(shù)，但是氫氣是一種難以抽取的氣體，因?yàn)樗肿恿啃。扯鹊?。Edwards推出的iXH真空泵系統(tǒng)采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達(dá)到最佳的壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)高效率地抽取氫氣，滿足各種太陽(yáng)能和半導(dǎo)體制造工藝中的現(xiàn)場(chǎng)安裝和性能要求。

通常來(lái)說(shuō)，在經(jīng)濟(jì)衰退之后，半導(dǎo)體制造業(yè)通常會(huì)發(fā)生一些變化。例如，在2001年的衰退之后，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開(kāi)始出現(xiàn)三個(gè)主要技術(shù)轉(zhuǎn)變：光刻向更小尺寸如0.13μm轉(zhuǎn)變，采用更新的金屬化方案，轉(zhuǎn)向300mm晶圓。而2009年衰退過(guò)后也不例外，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)采用300mm晶圓的趨勢(shì)非常明顯，產(chǎn)業(yè)積極向300mm晶圓過(guò)渡，50%的制造業(yè)務(wù)都轉(zhuǎn)向了這種尺寸較大的晶圓。此外，32nm及更小節(jié)點(diǎn)也催生出了越來(lái)越多的新工藝。

變則通，通則達(dá)?！盁o(wú)論對(duì)于產(chǎn)業(yè)還是對(duì)于公司，保持增長(zhǎng)的關(guān)鍵其實(shí)就是兩個(gè)字：創(chuàng)新。產(chǎn)品創(chuàng)新性越強(qiáng)，最終會(huì)賣得越好，設(shè)備制造商需要依靠創(chuàng)新來(lái)推動(dòng)制造業(yè)務(wù)的增長(zhǎng)。45nm在中國(guó)正在逐漸走向成熟，很多新的制造工藝和材料，如高k金屬柵、低k互連電介質(zhì)、更高的刻蝕、填充要求等等，都需要更完善的真空泵等輔助設(shè)備與之配合。”Neil Lavender-Jones說(shuō)，“隨著全球經(jīng)濟(jì)開(kāi)始復(fù)蘇，半導(dǎo)體、光伏與平板顯示行業(yè)也正在反彈，前景是極其樂(lè)觀的。我們相信，中國(guó)將率先恢復(fù)經(jīng)濟(jì)活力，尤其是光伏和平板顯示行業(yè)將吸引最多關(guān)注和投資。企業(yè)需要始終保持對(duì)全球市場(chǎng)及其發(fā)展的充分了解，從而做好準(zhǔn)備更好地應(yīng)對(duì)不斷的變化。”

太陽(yáng)能行業(yè)的成本下降主要來(lái)自于技術(shù)進(jìn)步和規(guī)模效應(yīng)。Neil Lavender-Jones認(rèn)為，光伏市場(chǎng)需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈能夠協(xié)同合作，將蛋糕做大，產(chǎn)生一定的規(guī)模效應(yīng)后成本也有望隨之下降。光伏市場(chǎng)受政策影響也比較大，比如最近德國(guó)的入網(wǎng)回購(gòu)電價(jià)(FIT)法案的潛在變化將對(duì)許多光伏制造商產(chǎn)生重大影響。作為設(shè)備制造商，主要還是依靠技術(shù)進(jìn)步來(lái)幫助客戶降低成本，途徑有很多，例如，高效而安全的處理尾氣、最小化設(shè)備采購(gòu)成本、安裝迅速、設(shè)計(jì)最具能效的組件、減少運(yùn)營(yíng)成本、降低維修成本，減少維修時(shí)間等。此外還要開(kāi)發(fā)適應(yīng)市場(chǎng)的新產(chǎn)品。雖然市場(chǎng)對(duì)于新產(chǎn)品的接受需要一定的時(shí)間，開(kāi)始投資可能會(huì)比較高，但工藝設(shè)備的可靠性和產(chǎn)能得到提高將會(huì)帶來(lái)更多的利益。

“除光伏市場(chǎng)以外，Edwards已經(jīng)看到中國(guó)LED市場(chǎng)的快速成長(zhǎng)，化合物半導(dǎo)體的制造正在經(jīng)歷飛速增長(zhǎng)，對(duì)尾氣處理提出獨(dú)特的要求。工藝中需要用到很多毒性很強(qiáng)的物質(zhì)，因而處理過(guò)程是不可或缺的，但同時(shí)又要求低成本?！盢eil Lavender-Jones說(shuō)，“新市場(chǎng)需要新技術(shù)，在技術(shù)上提速始終是制勝之本?！?/P>