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2011-05-18 20:56
豐常令人頭痛的問題-裂紋![]() ![]() 虛心請教高手們一個我解決不了的問題,在這里先行謝過!!
我們現(xiàn)使用梅耶博格的BS805帶鋸進(jìn)行單晶棒的開方,但是,最近在晶棒底部出現(xiàn)裂紋,我降低過出刀時工作臺的進(jìn)給速度,也做過其它的一些其它的實驗,甚至加快過出刀時的進(jìn)給速度人,但是一點效果都沒有。這種裂紋嚴(yán)重會導(dǎo)致晶棒底崩裂,輕的有細(xì)小紋路及亮點。而且現(xiàn)在裂紋出現(xiàn)沒有規(guī)律,時有時無。請問這種裂紋的產(chǎn)生是不是因為切割造成的,怎么解決?是不是單晶棒本身的問題? 急盼回應(yīng),謝謝 |