看一些非晶硅薄膜生產(chǎn)線資料，發(fā)現(xiàn)兩個(gè)問(wèn)題？特向高人請(qǐng)教，幫幫我吧
首先，清洗完玻璃之后直接做SnO2沉積可以嗎？會(huì)不會(huì)還需要對(duì)清洗后的玻璃烘干處理（我覺(jué)得必須要烘干下），我看那些資料上沒(méi)有介紹烘干處理，是不是現(xiàn)在的清洗線有自動(dòng)烘干的作用？
第二，TCO鍍膜并劃線、清洗后，在推入PECVD前，要用一個(gè)預(yù)烘爐進(jìn)行預(yù)烘，請(qǐng)問(wèn)，該預(yù)烘爐的作用是什么？對(duì)TCO起作用還是僅僅為了烘干清洗后殘留水分？，又或是預(yù)烘對(duì)于PECVD制備非晶硅薄膜有什么作用？
煩請(qǐng)大家指點(diǎn)啊