德國環(huán)境部資助的一個新的項目,F(xiàn)raunhofer材料力學(xué)研究所(IWM)正試圖減少硅錠到硅片過程中的切縫損失。
切割是用一條附有研磨液的超細(xì)金屬絲進行的,此過程中,會產(chǎn)生約為180微米的缺口,而硅片也為180微米。伴隨著缺口的出現(xiàn),硅錠在此過程中變成粉塵,因此,會產(chǎn)生近50%的切縫損失。IWM部門經(jīng)理Rainer Kübler稱:“我們?nèi)粢档腿笨趽p失,可將其降到100微米,也不影響工業(yè)使用?!?/P>
研究人員將重點放在研磨機理上,研究金屬絲、研磨液和硅之間的相互作用。決定性的因素在于超細(xì)金屬絲的切縫過程,研磨液的影響及成分,和金屬絲上研磨液的含量。實驗室中,IWM已經(jīng)成功地將影響切縫損失的缺口減小到90微米。