可對太陽能電池生產(chǎn)PECVD工藝后所鍍氮化硅膜層的膜層厚度進(jìn)行測試，可給出膜厚分布的MAP圖。也可對所鍍膜層的光學(xué)折射率n值進(jìn)行測量。
對電池片采樣可打每秒鐘4000個測試樣點。
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太陽能電池PECVD減反膜膜厚及折射率測試儀 （在線和離線）
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可對太陽能電池生產(chǎn)PECVD工藝后所鍍氮化硅膜層的膜層厚度進(jìn)行測試，可給出膜厚分布的MAP圖。也可對所鍍膜層的光學(xué)折射率n值進(jìn)行測量。
對電池片采樣可打每秒鐘4000個測試樣點。
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