| 對(duì)太陽(yáng)能硅片進(jìn)行檢測(cè)
太陽(yáng)能多晶硅晶片和單晶硅晶片的生產(chǎn)過(guò)程涉及到機(jī)械，濕化學(xué)，熱學(xué)和電子物理過(guò)程，從硅碇上切割下的晶片，進(jìn)行蝕刻，摻雜。所有這些工藝過(guò)程，以及工藝間的晶片搬運(yùn)，都會(huì)引入應(yīng)力，從而導(dǎo)致晶片的缺陷。例如： |
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Op-tection晶片檢測(cè)的在線和離線解決方案 晶片檢測(cè)系統(tǒng)依據(jù)太陽(yáng)能光伏工業(yè)需求進(jìn)行設(shè)計(jì)，可集成到生產(chǎn)線上 實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)，也可構(gòu)建獨(dú)立離線式檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)一批晶片的缺陷進(jìn)行檢測(cè)。
這兩種情況都不需要生產(chǎn)線停頓，都可在生產(chǎn)運(yùn) 轉(zhuǎn)中實(shí)現(xiàn)測(cè)試。為了提供精確、穩(wěn)定的檢測(cè)結(jié)果，利用高分辨率的行掃描攝像頭，利用增強(qiáng)型近紅外光譜，并配備近紅外光學(xué)優(yōu)化透鏡，利用LED光源（避免鹵素光源照明的缺點(diǎn)），獲取穩(wěn)定、高分辨率圖象，實(shí)現(xiàn)精確檢測(cè)。
強(qiáng)大功能的缺陷分析處理軟件，包括信息預(yù)處理，濾波算法，以及高效的圖象數(shù)據(jù)分析處理算法分辨出灰度圖象非常近似的晶格和微裂紋。避免良品誤判，也避免缺陷晶片混入到下一步工藝— 電池片的生產(chǎn)中。增加良率，確保有效的質(zhì)量控制，降低了成本，從而實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)效率的提高。 用戶界面顯示了實(shí)際的檢測(cè)狀態(tài)，包括測(cè)
試結(jié)果的統(tǒng)計(jì)。 圖象和測(cè)試參數(shù)都可存儲(chǔ)在PC的數(shù)據(jù)中，通過(guò)網(wǎng)絡(luò)可訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù)，并可實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的檢查和統(tǒng)計(jì)分析。
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晶片檢測(cè)系統(tǒng)在線檢測(cè)方案
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太陽(yáng)能硅片WAFER缺陷檢測(cè)機(jī)（在線或離線）
